ASMLは月曜日、ベルリンの工場で火災が発生したと発表しました。この工場はリソグラフィーマシンのコンポーネントを製造しています。 同社によれば、被害と生産への影響はまだ不明である。
ASMLは声明の中で、火事は日曜日から月曜日の夜に起こったと報告しています。 火は一晩で消火され、負傷者はいませんでした。 火災は、2020年にASMLが買収したBerliner Glas Groupが以前所有していた工場で、ASMLベルリンで発生しました。この工場はASMLのリソグラフィシステム用の部品を製造していると同社は報告しています。 とりわけ、ウェーハ用のトレイは、レチクルチャックやミラーブロックなどの他のコンポーネントに加えて、ベルリンの生産施設で製造されています。
同社がチップメーカーに供給しているリソグラフィーマシンの生産に火災がどのような影響を与えるかはまだわかっていません。 「現時点では、損害について、またはインシデントが今年の生産計画に影響を与えるかどうかについて声明を出すのは時期尚早です」とASMLは声明の中で書いています。 同社によれば、調査と被害の評価には数日かかるという。 ASMLは、後日、より多くの情報を提供することを示しています。