ASML周一宣布,柏林一家生产光刻机组件的工厂发生火灾。 该公司表示,目前尚不清楚损坏情况和对生产的影响。
ASML 在一份声明中报告说,火灾发生在周日至周一的晚上。 大火在一夜之间被扑灭,没有人员受伤。 火灾发生在柏林 ASML 的一家工厂,该工厂以前由 Berliner Glas Group 拥有,该公司于 2020 年被 ASML 收购。该公司报告称,该工厂为 ASML 的光刻系统生产零件。 除其他外,晶圆托盘在柏林生产设施中制造,此外还有其他组件,例如标线卡盘和反射镜块。
目前尚不清楚火灾将对公司供应给芯片制造商的光刻机的生产产生什么影响。 “在这一点上,就损坏或事件是否会影响今年的生产计划发表声明还为时过早,”ASML 在其声明中写道。 该公司表示,将需要几天时间进行调查并评估任何损害。 ASML 表示它将在以后提供更多信息。