ASML週一宣布,柏林一家生產光刻機組件的工廠發生火災。 該公司表示,目前尚不清楚損壞情況和對生產的影響。
ASML 在一份聲明中報告說,火災發生在周日至週一的晚上。 大火在一夜之間被撲滅,沒有人員受傷。 火災發生在柏林 ASML 的一家工廠,該工廠以前由 Berliner Glas Group 擁有,該公司於 2020 年被 ASML 收購。該公司報告稱,該工廠為 ASML 的光刻系統生產零件。 除其他外,晶圓托盤在柏林生產設施中製造,此外還有其他組件,例如標線卡盤和反射鏡塊。
目前尚不清楚火災將對公司供應給芯片製造商的光刻機的生產產生什麼影響。 “在這一點上,就損壞或事件是否會影響今年的生產計劃發表聲明還為時過早,”ASML 在其聲明中寫道。 該公司表示,將需要幾天時間進行調查並評估任何損害。 ASML 表示它將在以後提供更多信息。